关于氢氟醚
HYDROFLUOROETHERS (HFEs)

氢氟醚是由氢、氟、氧和碳原子构成的化合物，具有醚结构，臭氧消耗潜能值ODP为零，全球暖化潜势系数GWP 低，且大气停留时间很短，被认为是CFCs 理想替代品。除优良的环境性质外，氢氟醚还具有优秀的热稳定性和化学稳定性、适度的溶解性、毒性低、无腐蚀性、不燃、不产生烟尘、材料兼容性好等特点，易于贮藏和运输，被广泛应用于医疗、电子、金属、精密器械、光学镜片、通信及航空航天等众多领域。
① 用作清洗剂
可用于清洗半导体刻蚀腔体及零件；清除氟素残留堆积物；清洗FOUPs（前开式标准晶圆盒）；清洗精密电子零件的颗粒杂质；清洗LCD/OLED显示器、光学零件及镜片；清洗汽车引擎零件；清洗通讯设备及航空引擎、输氧管路设备；清洗医疗设备零件等。
② 用作溶剂
可用于气密性测试和耐电压测试的媒介物；电子涂层、屏幕涂层稀释剂；氟油、氟树脂、氟涂层稀释剂；可燃性溶剂的燃点调整剂；反应溶媒以及分析用萃取溶剂等。
③ 用作冷媒
可用于数据中心沉浸式冷媒；功率器件沉浸式冷媒；干法刻蚀装置、光刻装置、离子喷射装置、探头及信息处理装置的控温冷媒；也可用于食品工业冷却装置、冷冻干燥、橡胶塑料的冻结粉碎、化学医药品工业冷却装置等。

氢氟醚产品去污能力对比
清洗、干燥、溶剂、冷媒等选用建议